Channeling 분석법을 이용한 결정구조 및 결함 분석


이진호, 홍완, 김영석, 김준곤, 김기동, 최한우, 우형주
한국자원연구소

시료의 결정구조 특징 및 결함을 비파괴적으로 분석할 수 있는 channeling 실험의 자동 데이터수집 프로그램이 개발되었고, 이를 이용한 인공결정들의 결정특성을 분석하였다. 윈도우 환경에서 3축 고니오메터 제어프로그램을 제작하여 시료의 정밀 조정을 가능하도록 하였으며, 이와 함께, 전류적산계, 카운터등을 연계하여 운전 제어할 수 있는 계측프로그램을 완성하였다. 수작업으로 수행되던 기존의 실험과 비교하여 높은 정밀도를 유지하였으며 실험시의 오차 및 측정시간을 최소화하였다. Si, SiO2, CaF2 등의 결정들에 대해 channeling/RBS 실험을 수행하였고, 시뮬레이션 프로그램을 이용하여 이들 결정에 대한 구조 및 결함 함량을 정량화 하였다.

한국물리학회 2000년도 추계학술대회, 10. 27, 포항공대, 포항

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