채널링을 이용한 인공결정의 결함정량


홍완, 김준곤, 김영석, 김기동, 우형주, 최한우
한국자원연구소

한국자원연구소에서는 실용화를 목적으로 1997년부터 1999년까지 3년 동안 RBS/channeling 을 이용한 결정결함 및 결정구조 분석시스템을 개발하여 왔다. 그 동안 중간결과를 분석과학회 등에서 보고한 바 있으며 최종년도의 연구가 수행되었으므로 그 결과를 정리하여 보고하고자 한다. 1999년도에는 시료의 결정방향을 빔의 진행방향에 대해 임의의 각도로 배치할 수 있는 좌표변환 기능을 갖춘 고니오메터 제어 프로그램을 개발하였다. 또한 Si, GaAs, SiO2, LiNbO3, CaF2 결정을 측정하고 그 결과를 시뮬레이션 결과와 비교하여 결함을 정량하였다. 시뮬레이션 결과와 실제 결함함량의 절대치는 차이를 보였다. 이는 시뮬레이션 프로그램의 오차, 실험상의 이온빔의 각도분산, 시료표면의 결함 등에 의한 것이라 생각된다. 실제 정량에서는 완전 결정을 측정하여 상대비교함으로써 보정이 가능하다. 또한 전반적으로 결함의 증감을 나타내는 경향은 실제와 잘 일치하였다.

한국물리학회 2000년도 춘계학술대회, 4. 28, 육군사관학교, 서울

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